教育・研究施設研究機器センター半導体や金属などの無機物や高分子などの有機物の結晶性の粉末や薄膜の試料にＸ線に照射し、得られる回折情報から結晶構造の同定、結晶子サイズなどを測定します。本装置は、高出力Ｘ線源をもち、薄膜の面内測定も可能です。プローブ（探針）を金属、半導体などの試料表面上を走査することで、微小領域の表面形状や物性を測定します。探針と試料間で検出する物理量によって、原子間力顕微鏡(AFM)や摩擦力顕微鏡(FFM)として利用します。 走査型プローブ顕微鏡数値制御（NC）工作機械による加工方法の専門知識と実践力を学び、NCプログラムの作成や部品の仕上げ、測定、検査を行うことができます。工作実習・実験室（3号館）ＣＡＤ設計やＮＣプログラムなどの先端的工作機械により「ものづくり」を実践する工房です。ものづくり実践工房（2号館）学生がフォーミュラカーを設計・製作するために必要な3次元CADや工作機械、コンピュータ、3Dプリンターを完備しています。ものづくり工房（3号館）最高10万ボルトの高電圧を発生させることのできる実験設備。弱電離プラズマの研究などに活用しています。高圧放電実験室（2号館）固体表面のナノスケールの超微細な形態や組織構造を最大80万倍で観察できる高性能な電子顕微鏡。半導体、太陽電池、セラミックスなどの材料の形態評価に活用されています。電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）微細X線ビームを試料に照射し、発生する蛍光X線から元素分析を行います。固体、液体、粉体などの多様な試料に対応可能で、試料を水平面内で走査することで広範囲の元素マッピングを測定することができます。Ⅹ線分析顕微鏡強力X線回折装置研究機器センターには、研究に欠かせない大型の測定装置が設置されています。教員、大学院生、学部学生の研究活動で利用します。民間企業や公的研究機関の技術者・研究者も利用する施設です。学び・研究65
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