山陽小野田市立山口東京理科大学 大学案内2019

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教育・研究施設多元同時蒸着装置原子サイズからミクロンのオーダーまでの薄膜物質を成長させる装置。電子材料の開発や薄膜成長技術の研究開発や、集積回路（IC）、半導体メモリ、磁気記録媒体などの基盤技術の研究に用いられています。透過型電子顕微鏡（TEM）高コントラストポールピースの採用で、低倍から高倍まで高コントラストで良質な像が得られます。また、トラッカーポールによるステージ操作で、直感的な操作が可能となっています。顕微レーザーラマン分光分析装置半導体レーザーの光を試料に照射してラマン散乱光を分光。レーザー光を直径1μmまで絞ることで、試料の微細な部分のラマン分光が可能であり、半導体や超高温材料の研究などに用いられています。電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM）固体表面のナノスケールの超微細な形態や組織構造を最大80万倍で観察できる高性能な電子顕微鏡。半導体、太陽電池、セラミックスなどの材料の形態評価に活用されています。核磁気共鳴装置超伝導マグネットによる磁場での水素、炭素13などの原子核の置かれている磁気的環境を測定し、有機物質の構造を調べられます。有機化学の研究に必要不可欠な装置です。熱分析装置有機化合物、高分子化合物、無機化合物などさまざまな物質の熱的性質をDSC、TGA、BTA、TMAを使って測定します。高性能光電子分光分析装置金属、半導体、高分子等の表面にX線を照射し、組成元素の分析、電子状態の解析を行います。また、半導体デバイスの微細な構造部分の評価にも活用されています。研究機器センターには、研究に欠かせない大型の測定装置が設置されています。教員、大学院生、学部学生の研究活動で利用します。民間企業や公的研究機関の技術者・研究者も利用する地域社会に開かれた施設です。研究機器センター61