機械加工・固定砥粒研磨加工技術・CMPおよびナノスケール表面の創成とSPM解析技術・超砥粒ホイールの研削特性に関する研究・鏡面仕上げ・高能率加工・ナノスケール微細加工・日本機械学会・精密工学会・砥粒加工学会工学部准教授佐藤隆之介基盤工学科機械システム工学コース生産加工システム研究室URL: http://www.mech.utsunomiya-u.ac.jp/mmsl/Mail: satoryu[at]cc.utsunomiya-u.ac.jpさとうりゅうのすけ2018年8月更新研究概要（社会活動特許等取得状況産学連携・技術移転の対応等）社会貢献等今後の展望（特徴と強み等）教育・研究活動の紹介【固定砥粒研磨加工技術】機械加工の高能率化を目的に，切削・研削による粗加工・中仕上げ加工から研磨による仕上げ加工までを段取り替えなしに実現するため，マシニングセンタで使用可能な研磨工具の開発を目指して固定砥粒研磨工具による鏡面加工技術を研究しています．【CMPおよびナノスケール表面の創成とSPM解析技術】遊離砥粒を用いたケミカルメカニカルポリッシング(CMP)や原子間力顕微鏡(AFM)を用いたナノスケールの除去・付加加工など，原子オーダーの凹凸を有する表面創成する加工技術について研究しています.分野研究テーマキーワード所属学会等特記事項機械加工についての技術相談等にはいつでも対応致します．また，ご相談の内容次第では加工実験や加工面の評価，解析をお引き受けすることも可能です．積極的に産学連携を進めていきたいと考えておりますので，少しでも興味がありましたらお声がけ頂ければと思います．企業・自治体との連携に積極的に取り組んでまいります．TEL:028-689-6041FAX:028-689-60415µm工具の向き加工方向AA'BB'1µm00.51.01.52.02.53.0-100-50050A'Aµm nm00.51.01.52.0-100-50050B'B µm nm固定砥粒研磨工具SKD11に対する鏡面加工単結晶Si工具ポリカーボネートに対するナノスケール溝加工陽極酸化によるナノドット加工76
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